部品番号2-8950-KF16、 2-8950-KF25、 2-8950-KF40、 2-8950-CF40
対応機種：MX Active Gauge EthernetIP Gateway
特長と効果
- 高耐汚染性の冷陰極イオン化ゲージ設計
- 低アウトガスを実現するオールメタルシール
- コンパクト設計
- カラー有機ELディスプレイ
- 設定可能な0～10Vアナログ出力
- プロセス制御用セットポイントリレーとオープンコネクタ
- RS-485およびUSB通信規格
- MXアクティブゲージEIPゲートウェイ経由でEthernetIP通信が可能
- センサーの寿命を延ばすために、簡単に洗浄できるイオン化ゲージ
- 校正とサービスのための迅速なターンアラウンド
新しいTelevac® MX7Mは、アクティブバキュームゲージ（とも呼ばれます。 アナログバキュームゲージまたは デジタル真空計は、5*10-11～1*10-2 Torrの広い動作範囲を持つ新しいTelevac® 7M冷陰極電離ゲージを搭載しています（他の測定単位に変換したい場合は、便利な単位変換ツールを参照してください）。10-11Torrの範囲で測定可能なクリーニング可能な冷陰極は、この冷陰極のみです。新しい3重反転マグネトロン設計は、浮遊磁場を大幅に減少させながら直線性を改善し、真空計の全体的な精度を向上させます。
This vacuum gauge has all-metal seals, minimizing outgassing while maintaining a compact overall design. The MX7M cold cathode gauge also has a variety of features including a configurable 0 to 10 V DC analog output, RS-485 communications (EthernetIP optional), two programmable set points (relays and open collectors), and a bright OLED display with a 180° viewing angle.
この冷陰極ゲージのすべての機能は、ディスプレイとタッチコントロール、またはデジタル通信を介してアクセスできます。このアクティブゲージには、Rockwell Automation®Allen-Bradley®PLCとのEthernetIP通信を可能にするEthernetIPゲートウェイもあります。この冷陰極ゲージをMX2AやMX4Aのような粗い真空ゲージと組み合わせることで、5*10-11Torrから1000 Torrまでのフルレンジの測定が可能になります。
D-Sub 15, 15 Conductor Cables (flying leads)
D-Sub 15, 6 Conductor Cables (flying leads)
ウォール電源
| 動作範囲 | 5*10-11Torr から 1*10-2Torr への 5*10-11Torr |
| 表示 | 有機EL |
| デジタル通信 | RS-485、USB（マイクロ |
| アナログ出力 | 設定可能な0～10V DC |
| プログラム可能なセットポイント | 2 |
| セットポイント1 | オープンコレクター |
| セットポイント2 | リレー |
| 電源電圧 | 22 V～26 V DC |
| 最大出力 | 8 W |
| 校正媒体 | 乾燥空気または窒素 |
| 過圧 | 150 psi |
| デジタル出力分解能 | 指数付き有効数字3桁 |
| アナログ出力分解能 | 16ビット |
| 動作温度 | 0 °C～50 °C |
| 保存温度 | -20 °C ～ 60 °C |
| ベークアウト温度 | 250 °C |
| 応答時間 | ≦50ms |
| 精度 | |
| 1*10-9～1*10-3 Torr | よみの±3割 |
| アナログ出力 | ±10 mV |
| 表示可読距離 | 3 m (10 ft) |
| 物理的特性 | |
| エンクロージャ | アルミニウム |
| センサーとの重量 | 1 kg (2 ポンド) |
| センサーなしの重量 | ｋｇ |
| 寸法 | 寸法図を見る |
| 電子ビーム溶接 |
| 薄膜の成膜・コーティング工程 |
| 分光分析 |
| 分光学 |
| 顕微鏡 |
